特許
J-GLOBAL ID:200903080971111495
高速蛍光X線検出システム
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-197205
公開番号(公開出願番号):特開2004-037360
出願日: 2002年07月05日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
【目的】数時間オーダーで所定カウント数の蛍光X線を取得可能な蛍光X線検出システムを提供する。【解決手段】この発明の蛍光X線検出システム1は、測定対象物(試料)Oに、所定の波長の単色X線が照射されることで試料Oから放射される蛍光X線を検出するためのカウントレートが106cpsより高いX線検出器13と、試料から放射された蛍光X線をX線検出器の入射面の所定の一点に集束させることのできるX線集束素子17を用いることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
X線が照射されることで試料から放射された蛍光を106/秒以上のカウントレートで計測可能なX線検出器と、
試料から前記X線検出器に向かう蛍光の軸線方向と直交する方向に曲率半径が最大となる部分が定義されたトロイダル状に形成され、試料から放射された蛍光を取り込んで前記X線検出器の所定の位置に集束させるX線集束素子と、
を有することを特徴とする蛍光X線検出システム。
IPC (3件):
G01N23/223
, G01T1/24
, G21K1/06
FI (5件):
G01N23/223
, G01T1/24
, G21K1/06 C
, G21K1/06 D
, G21K1/06 G
Fターム (16件):
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001EA02
, 2G001EA20
, 2G001HA07
, 2G001JA08
, 2G001KA20
, 2G001MA05
, 2G001NA13
, 2G001NA17
, 2G088EE30
, 2G088FF02
, 2G088FF03
, 2G088GG21
, 2G088KK13
引用特許:
審査官引用 (3件)
-
X線回折要素及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-293891
出願人:科学技術振興事業団, 松原英一郎, 松下電器産業株式会社
-
蛍光X線膜厚計
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-217046
出願人:セイコーインスツルメンツ株式会社
-
点集束型X線分光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-212078
出願人:理学電機工業株式会社
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