特許

J-GLOBAL ID：200903081040677564

テーブル位置決め装置

発明者： 千葉 次郎 ,  坂田 順 ,  青山 義雄
出願人/特許権者： 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ
代理人 (1件)： 横沢 志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-297715
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116868
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】 移動テーブルを位置決め後にクランプする際に発生する位置ずれを防止可能なテーブル位置決め装置を提案すること。【解決手段】 テーブル位置決め装置1は、固定テーブル2の上に移動自在に乗せた移動テーブル4を備え、この移動テーブル4は3組のサーボ駆動機構5Aないし5Cにより移動させられる。3組の位置センサ6Aないし6Cの位置情報に基づき、各サーボ駆動機構が制御され、移動テーブルが目標位置に移動する。移動テーブル4が目標位置に到ると、4組のクランプ機構8Aないし8Dが駆動され、移動テーブル4に加わるクランプ力が徐々に増加する。この間にも移動テーブル4の位置決め制御が実行される。本クランプ状態になったときには、位置ずれなく、精度良く、移動テーブルが目標位置に位置決めされる。

請求項（抜粋）：

固定テーブルと、基準平面上を二次元的に移動可能な状態で前記固定テーブルによって支持されている移動テーブルと、この移動テーブルを前記基準平面上で移動させるための複数組のテーブル移動機構と、前記移動テーブルを前記固定テーブルにクランプするクランプ機構とを有するテーブル位置決め装置において、前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手段と、このテーブル位置検出手段の検出結果に基づき、前記テーブル移動機構および前記クランプ機構を駆動制御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする制御手段とを有し、前記制御手段は、前記移動テーブルが前記目標位置に到ると、前記クランプ機構により前記移動テーブルに対して所定の大きさのクランプ力を与えて、当該移動テーブルを仮クランプ状態とし、当該仮クンラプ状態で、前記移動機構により前記移動テーブルの位置決めを行なわせ、位置決め後には前記クランプ機構により前記移動テーブルが移動しない大きさのクランプ力を与えて、当該移動テーブルを本クランプ状態とすることを特徴とするテーブル位置決め装置。

IPC (3件)：

G12B 5/00 ,  B23Q 1/28 ,  B23Q 1/30

FI (3件)：

G12B 5/00 T ,  B23Q 1/28 ,  B23Q 1/30

Fターム (11件)：

2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB09 ,  2F078CB12 ,  2F078CC01 ,  2F078CC07 ,  2F078CC11 ,  3C048BB12 ,  3C048CC01 ,  3C048DD06 ,  3C048DD28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-047175   出願人：株式会社ニコン
• 位置決めテーブル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-003480   出願人：松下電器産業株式会社