硬質皮膜ワーク及びその加工方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：梅田明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-149423
公開番号（公開出願番号）：特開2001-329360
出願日： 2000年05月22日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】【課題】精密かつ/又は複雑な形状・寸法に加工可能で、耐摩耗性等の摺動特性、耐熱性・耐食性等の化学的安定性、及び密着性に優れた硬質皮膜を有し、厳しい使用条件下でも反り等の変形が少なく、十分な耐久性を発揮し、広範な用途に使用可能なワーク、及びその加工方法を提供する。【解決手段】アークイオンプレーティング(AIP)法を用いて、金属材料からなるワークの表面に軟質の窒化物薄膜を付着させ、かつ前記軟質の窒化物薄膜の上に硬質の窒化物薄膜を積層し、これを繰り返して多層構造の硬質皮膜をワーク表面に形成する。

請求項（抜粋）：

アークイオンプレーティング法を用いて、金属材料からなるワークの表面に軟質の窒化物薄膜を形成し、かつ前記軟質の窒化物薄膜の上に硬質の窒化物薄膜を積層することにより、前記ワーク表面に硬質皮膜を形成することを特徴とする硬質皮膜ワークの加工方法。

IPC (2件)：

C23C 14/06 , B23B 27/14

FI (2件)：

C23C 14/06 P , B23B 27/14 A

Fターム (15件)：

3C046FF02 , 3C046FF09 , 3C046FF10 , 4K029AA02 , 4K029BA58 , 4K029BA60 , 4K029BB02 , 4K029BC01 , 4K029BC02 , 4K029BD05 , 4K029CA04 , 4K029CA13 , 4K029DD06 , 4K029EA08 , 4K029EA09

引用特許：

審査官引用 (6件)

耐磨耗性多層型硬質皮膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-224013 出願人：株式会社神戸製鋼所
特開平2-129360
摺動部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-019757 出願人：株式会社リケン

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