特許
J-GLOBAL ID:200903081076357426

感光性樹脂組成物、並びにそれを用いた感光性画像形成材料及び感光性画像形成材

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-412134
公開番号(公開出願番号):特開2004-272212
出願日: 2003年12月10日
公開日(公表日): 2004年09月30日
要約:
【課題】溶媒に対する溶解性が良好で、黄灯下でのセーフライト性に優れ、青紫色領域で高感度且つ解像性の高い感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】増感剤と、露光された時にこの増感剤との相互作用により、ラジカル、酸及び塩基のうちの少なくとも一種を生成する活性化合物とを含有する感光性樹脂組成物。増感剤は下記一般式[I]で表される化合物を含む。 【化27】(一般式[I]中、R1〜R9は、それぞれ独立して水素原子又は任意の置換基を表す。但し、R1〜R9のうち隣り合う置換基同士、R1とR9、及びR5とR6、のうちの1又は2以上の組み合せでそれぞれ互いに結合して、置換基を有していても良い環を形成していても良い。)
請求項(抜粋):
増感剤と、 露光された時に該増感剤との相互作用により、ラジカル、酸及び塩基のうちの少なくともいずれか一種を生成する活性化合物と を含有する感光性樹脂組成物において、 該増感剤が下記一般式[I]で表される化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F7/028 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027
FI (3件):
G03F7/028 ,  G03F7/004 503Z ,  H01L21/30 502R
Fターム (20件):
2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CA20 ,  2H025CA28 ,  2H025CA41 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 感光性組成物
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-056424   出願人:富士写真フイルム株式会社
  • 特開昭59-208541号公報
審査官引用 (8件)
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引用文献:
審査官引用 (1件)
  • 化学大辞典4, 19760910, 縮刷版, 第409頁

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