特許
J-GLOBAL ID：200903081100420428
音響検出機構
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-291176
公開番号（公開出願番号）：特開2004-128957
出願日： 2002年10月03日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】簡単なプロセスで製造が可能で、高感度となるコンデンサマイクロホンを合理的に構成する。【解決手段】支持基板と活性層とで成るSOI基板Aをエッチング処理することにより、支持基板を取り除き活性層によって振動板Bを形成し、この振動板Bと対向する側にスペーサDを介してめっきの技術により複数の貫通孔Caを有した金属材で成る背電極Cを形成し、かつ、背電極において貫通孔Caの開口面積を除いた有効電極面積のうち、前記振動板Bの中央部に対応する領域の面積を、前記振動板Bの周辺部に対応する領域の面積より大きい値に設定した。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
単結晶シリコン基板にコンデンサを形成する一対の電極を有し、この一対の電極のうち一方の電極はアコースティクホールに相当する複数の貫通穴を形成した背電極であり、他方の電極は振動板である音響検出機構において、
前記振動板が単結晶シリコンで形成されると共に、前記背電極において前記貫通孔の開口面積を除いた有効電極面積のうち、前記振動板の周辺部に対応する領域の面積より、前記振動板の中央部に対応する領域の面積が大きい値に設定されていることを特徴とする音響検出機構。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5D021CC02
, 5D021CC07
, 5D021CC12
