特許
J-GLOBAL ID：200903041192039006
圧力センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
谷 義一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-202754
公開番号（公開出願番号）：特開2002-027595
出願日： 2000年07月04日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：
【要約】【課題】 簡単な工程で、迅速に且つ安定してコンデンサ型音響・圧力センサを製造すること。【解決手段】 平行して近接させた振動板と背面板から成る対向した電極によって、圧力の変化を容量変化に変換して検出する。対向電極を形成する際に、対向電極101,103の間隙部および周辺支持部に粉体酸化珪素を主成分とし硼素またはリンを高濃度に含む接着層105を堆積し、対向電極を形成する2枚の基板を接着した後、対向電極間隙部104の接着層を取り去ることによって、対向電極構造を形成する。
請求項（抜粋）：
振動板および背面板から成る対向電極を有する圧力センサであって、前記対向電極の周辺支持部に前記振動板および前記背面板を所定の間隙で対向させるための、粉体酸化珪素を主成分とし硼素またはリンを高濃度に含む接着層を介在させたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
H04R 19/04
, G01L 9/12
, H01L 29/84
H04R 19/04
, G01L 9/12
, H01L 29/84 Z
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055EE25
, 2F055FF11
, 2F055FF43
, 2F055GG01
, 2F055GG11
, 4M112AA01
, 4M112BA07
, 4M112CA02
, 4M112CA16
, 4M112DA04
, 4M112DA05
, 4M112DA06
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA06
, 4M112EA10
, 5D021CC02
, 5D021CC04
, 5D021CC05
, 5D021CC19
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (2件)
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