ポリイオン性ポリマー化合物、その製造方法及び光開始剤としての使用

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-271212
公開番号（公開出願番号）：特開平10-226707
出願日： 1997年10月03日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】複数のオニウム単位を含んだポリカチオン部分(A+)pと、化合物を電気的に中性にするのに十分な数のアニオンX-とから構成される高分子又はオリゴマーイオン性化合物。(前記オニウム単位が、ビアリールヨードニウム、アリールスルホニウム、アリールアシルスルホニウム、ジアゾニウム等、X-が、イミドアニオン[RFSO2NSO2R’F]-、またはメチリドアニオン[RFSO2C(Q)SO2R’F]-であること、このときQは、H-、Cl-、F-、Br-、またはCN-;C1〜30アルキル基等;基R”Fまたは基R”FSO2;であり、RF、RF’、RF”はフッ素、パーハロアルキル基等、また-SO2-と環を形成してもよい。)【効果】フォトレジストとして使用するときに、ポリマーの変性用に、またはカチオン重合若しくはモノマーの架橋用の光開始剤として有用である。

請求項（抜粋）：

複数のオニウム単位を含んだポリカチオン部分(A+)pと、化合物を電気的に中性にするのに十分な数のアニオンX-とから構成される高分子又はオリゴマーイオン性化合物であって、-前記オニウム単位が、ビアリールヨードニウム、アリールスルホニウム、アリールアシルスルホニウム、ジアゾニウム、および4〜12個の炭素原子を含んだ少なくとも1つの不飽和環と錯体形成する遷移金属を含む有機金属カチオン、からなる群から選択されること;-X-が、イミドアニオン[RFSO2NSO2R’F]-、またはメチリドアニオン[RFSO2C(Q)SO2R’F]-であること、このとき:1)Qは、- H-、Cl-、F-、Br-、またはCN-;- 1〜30個の炭素原子を有するアルキル基;- 6〜30個の炭素原子を有するアリール基、アルキルアリール基、又はアリールアルキル基;- 基R”Fまたは基R”FSO2;であり、2)RF、R’FおよびR”Fは、X-がメチリドアニオンであるときは、フッ素、1〜30個の炭素原子を有するパーハロアルキル基、(パーハロアルキル)アルキルオキシ基、3〜30個の炭素原子を有するパーハロゲン化脂環式基(OとNから選ばれるヘテロ原子を含んでいてもよく、及び/又は、少なくとも1つのパーハロアルキル鎖を有していてもよい)、および6〜30個の炭素原子を有するパーハロゲン化アリール基からなる群から独立的に選択されてよく;3)RFとR’Fは一緒になって、それぞれ基-SO2-N-SO2若しくは基-SO2-C(Q)-SO2-を含んだ環を構成する二価の基を形成するか、又は、X-がメチリドアニオンであるときには、R”Fは基RF又はR’Fの一方と一緒になってそれぞれ基-SO2-C-SO2-若しくは-SO2-C-を含んだ環を構成する二価の基を形成し、このとき前記二価の基は、2〜12個の炭素原子を有する過フッ化アルキレンから選択され、存在していてもよい第3の基は、上記2)に記載の一価の基から選択され;そして4)pは、オニウム単位の数を示すことを特徴とする高分子又はオリゴマーイオン性化合物。

IPC (5件)：

C08F 2/50 , C08F112/14 , C08G 59/68 , C08G 75/20 , C08G 77/08

FI (5件)：

C08F 2/50 , C08F112/14 , C08G 59/68 , C08G 75/20 , C08G 77/08

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-296755
フルオロカーボンアニオンを有するエネルギー活性塩
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-526859 出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー
フッ素化されたイオン性スルホニルイミド及びスルホニルメチリド、それらの製造方法並びに光開始剤としての使用
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-271624 出願人：アラン・ヴァレー, ミシュル・アルマン, グザヴィエ・オリヴラン, クリストフ・ミショト

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