特許
J-GLOBAL ID：200903081149837286
プラズマ発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
七條 耕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-178230
公開番号（公開出願番号）：特開2006-351435
出願日： 2005年06月17日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：
【課題】装置動作中、作業者が感電の心配なくガス導入装置に触れることができるようにするとともに、高密度高温プラズマの発生に使われるべきエネルギーが失われないようにしたプラズマ発生装置を提供すること。【解決手段】ガス導入装置2と、環状の放電電圧印加電極9間に接続され、ガス導入装置2から真空容器13内に放電ガスを導入する金属製ガス管5とを有し、高電圧パルス発生器7より放電電圧印加電極9と接地電極11間にパルス状の高電圧を印加し、放電電圧印加電極9と接地電極11間に放電ガスによる高密度高温プラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、金属製ガス管5の一部に、絶縁管6を挿入し、ガス導入装置2を接地する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
接地電位の真空容器に設けられる環状の接地電極と、
該接地電極と同軸に設けられる環状の絶縁体と、
上記絶縁体を介して上記接地電極と同軸に設けられる環状の放電電圧印加電極と、
上記放電電圧印加電極と上記接地電極間にパルス状の高電圧を印加する高電圧パルス発生器と、
ガス導入装置と、
該ガス導入装置と上記環状の放電電圧印加電極間に接続され、上記ガス導入装置から上記真空容器内に放電ガスを導入する金属製ガス管とを有し、
上記高電圧パルス発生器より上記放電電圧印加電極と上記接地電極間にパルス状の高電圧を印加し、上記放電電圧印加電極と上記接地電極間に放電ガスによる高密度高温プラズマを発生させるプラズマ発生装置において、
上記金属製ガス管の一部に、電気絶縁性ガス管を挿入したことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/24
, H01L 21/027
, G21K 5/08
H05H1/24
, H01L21/30 531S
, G21K5/08 X
, G21K5/08 Z
