特許

J-GLOBAL ID：200903081293901843

光路補正装置および光学測定装置

発明者： 大野 政博
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 増田 達哉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-317380
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146212
出願日： 1993年11月24日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【構成】光路補正装置1Aは、偏光ビームスプリッタ2、1/4 波長板4及び対物レンズ5がこの順に同軸上に配置され、偏光ビームスプリッタ2の左側面側に反射鏡6が設置された構成である。被検面7が角θだけ傾斜している場合、入射光束8は、偏光ビームスプリッタ2及び1/4 波長板4を透過後、対物レンズ5により被検面7上に集光され、その被検面7での1回目の反射光束9は、入射光束8と別の経路で、対物レンズ5及び1/4 波長板4を通過し、偏光分離面3で反射され、更に反射鏡6にて反射されて同経路を戻り、対物レンズ5にて被検面7上の前記と同じ集光点72に集光される。この集光光の2回目の反射光束10は、被検面7の傾斜角度θにかかわらず、入射光束8と同一の経路を逆行する。【効果】簡易な構成で、光路のずれを正確に補正することができる。

請求項（抜粋）：

光路変更手段と、入射光束を被検面上に集光させる対物レンズと、前記入射光束の光路を遮断しない位置に設置された反射鏡とを有し、前記入射光束に対する前記被検面の傾きにかかわらず、前記入射光束の少なくとも一部を前記対物レンズにて前記被検面上に集光させ、その光の前記被検面での1回目の反射光束を、前記光路変更手段により前記入射光束の光路とは異なる経路に導き、この光束を前記反射鏡で反射して、前記1回目の反射光束と同経路で前記被検面上に再び集光させ、その光の被検面での2回目の反射光束を前記入射光束と同経路で逆行させることを特徴とする光路補正装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 ,  G01B 11/24

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 3次元形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-165561   出願人：横河電機株式会社
• 3次元形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-303324   出願人：横河電機株式会社