特許

J-GLOBAL ID：200903081316465698

感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィルムレジスト

発明者： 日向 淳悦 ,  山本 尚俊
出願人/特許権者： ニチゴー・モートン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-126506
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321767
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 感度、解像力、密着性、耐めっき性、レジスト剥離性、感光性樹脂組成物の安定性に優れたドライフィルムレジストに用いられる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)及び光重合開始剤(C)からなる感光性樹脂組成物において、エチレン性不飽和化合物(B)として、特定式で示される光重合モノマー(B1)をエチレン性不飽和化合物(B)全体に対して3〜50重量%含有し、更に光重合開始剤(C)として、N-アリール-α-アミノ酸系化合物(C1)を含有してなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)及び光重合開始剤(C)からなる感光性樹脂組成物において、エチレン性不飽和化合物(B)として、下記一般式(1)で示される光重合モノマー(B1)をエチレン性不飽和化合物(B)全体に対して3〜50重量%含有し、更に光重合開始剤(C)として、N-アリール-α-アミノ酸系化合物(C1)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】ここで、R1は水素又はメチル基、R2は炭素数1〜4のアルキル基、R3は炭素数4〜14のアルキル基、mは3〜20の整数、nは0〜9の整数、lは1〜3の整数である。

IPC (6件)：

G03F 7/031 ,  C08F 2/50 ,  C08F 20/28 ,  C08F290/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 501

FI (6件)：

G03F 7/031 ,  C08F 2/50 ,  C08F 20/28 ,  C08F290/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 501

Fターム (94件)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC34 ,  2H025BC65 ,  2H025CA02 ,  2H025CA03 ,  2H025CA19 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025EA08 ,  4J011PA69 ,  4J011PA70 ,  4J011PA86 ,  4J011PA88 ,  4J011PA95 ,  4J011PA96 ,  4J011QA03 ,  4J011QA07 ,  4J011QA13 ,  4J011QA21 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA34 ,  4J011QA37 ,  4J011SA78 ,  4J011SA82 ,  4J011UA01 ,  4J027AA02 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AJ02 ,  4J027BA02 ,  4J027BA04 ,  4J027BA06 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA09 ,  4J027BA10 ,  4J027BA11 ,  4J027CA03 ,  4J027CA24 ,  4J027CA25 ,  4J027CA31 ,  4J027CB10 ,  4J027CC04 ,  4J027CD10 ,  4J100AB02R ,  4J100AB03R ,  4J100AB04R ,  4J100AE02R ,  4J100AG04R ,  4J100AJ01Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ08Q ,  4J100AJ09Q ,  4J100AK31Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL03P ,  4J100AL04P ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100AL09P ,  4J100AL10P ,  4J100AL10R ,  4J100AL36Q ,  4J100AM02R ,  4J100AM21R ,  4J100BA14R ,  4J100BA31P ,  4J100BA31R ,  4J100BB17R ,  4J100BC04P ,  4J100BC43P ,  4J100BC53R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 感光性樹脂組成物およびその用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-297327   出願人：日本合成化学工業株式会社
• 感光性樹脂組成物および感光性フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-239794   出願人：日立化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィル ムレジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-287457   出願人：日本合成化学工業株式会社
• プリント配線板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-350443   出願人：日本合成化学工業株式会社