特許

J-GLOBAL ID：200903081336864084

光導波路の製造方法

発明者： 川又 繁 ,  堀 彰弘
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-225821
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098420
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 屈折率が高く光の透過性の良好な光導波路の製造方法を提供する。【構成】 基板1の表面に光導波路用ガラス膜として低屈折率層2及びコアガラス膜3を形成し、そのコアガラス膜3に第一の熱処理を施した後フォトリソグラフィ及びドライエッチングによりコア導波路をパターン化し、そのパターン化したコア導波路上にクラッド膜6を形成した後第二の熱処理を施す光導波路の製造方法において、第一、第二の熱処理の前にコアガラス膜3及びコア導波路に屈折率制御用添加物の揮散を阻止する拡散障壁膜を被着することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

基板の表面に光導波路用ガラス膜として低屈折率層及びコアガラス膜を形成し、そのコアガラス膜に第一の熱処理を施した後フォトリソグラフィ及びドライエッチングによりコア導波路をパターン化し、そのパターン化したコア導波路上にクラッド膜を形成した後第二の熱処理を施す光導波路の製造方法において、前記第一、第二の熱処理の前に前記コアガラス膜及び前記コア導波路に屈折率制御用添加物の揮散を阻止する拡散障壁膜を被着することを特徴とする光導波路の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光導波路の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-263633   出願人：富士通株式会社
• 特開昭62-124511
  
• 光導波路及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-291513   出願人：富士通株式会社