特許
J-GLOBAL ID：200903081341772805
音響センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-148433
公開番号（公開出願番号）：特開2008-301430
出願日： 2007年06月04日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：
【課題】振動電極板が対向電極板に固着して振動電極板の振動が妨げられる現象を効果的に軽減することのできる音響センサを提供する。【解決手段】音圧に感応する振動電極板24が対向電極板25に対向し、静電容量型の音響センサを構成する。対向電極板25には、振動を通過させるための音響孔31が開口し、また振動電極板24と対向する面には複数の突起36が突設している。振動電極板24の柔軟性が高くて対向電極板25に局所スティックしやすい領域では、突起36どうしの間隔を小さくしている。また、振動電極板24の柔軟性が低くて対向電極板25に局所スティックしにくい領域では、突起36どうしの間隔を大きくしている。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
基板に固定され、かつ、音圧に感応する振動電極板と、
基板に固定され、かつ、前記振動電極板と空隙を介して対向した対向電極板と、
を有する音響センサにおいて、
前記振動電極板又は前記対向電極板の前記空隙側の面に複数の突起を設け、
前記振動電極板又は前記対向電極板における突起形成領域に応じて隣接する突起どうしの間隔を変化させたことを特徴とする音響センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2G064AA16
, 2G064AB14
, 2G064BA02
, 2G064BA07
, 2G064BA08
, 2G064BD05
, 2G064BD26
, 2G064BD31
, 2G064BD51
, 5D021CC14
