特許

J-GLOBAL ID：200903081366992362

走査型プローブ顕微鏡及びプローブホルダ

発明者： 中島 秀郎 ,  臼田 宏治
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-344128
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171472
出願日： 1998年12月03日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、プローブの交換を手動によらず自動で行う。【解決手段】 プローブホルダ3に対する直線方向の相対的な移動によってプローブホルダ3の着脱を行うヘッド側着脱機構を備えるヘッド2と、ヘッド2とプローブホルダ3との間で少なくとも直線方向に相対的な移動を行う移動機構12,13とを備えた構成によって走査型プローブ顕微鏡を構成し、走査型プローブ顕微鏡が備えるヘッド及びステージの移動機構をそのまま利用してヘッド2及びステージ7を相対的に移動させ、この移動に基づいて、直線的な横方向(X,Y方向)あるいは縦方向(Z方向)の相対移動によって、ヘッド2とプローブホルダ3との着脱を行い、プローブ5の自動交換を行う。

請求項（抜粋）：

プローブホルダに対する直線方向の相対的な移動によってプローブホルダの着脱を行うヘッド側着脱機構を備えるヘッドと、ヘッドとプローブホルダとの間で少なくとも直線方向に相対的な移動を行う移動機構と、を備える走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z

Fターム (13件)：

2F069AA60 ,  2F069DD16 ,  2F069DD25 ,  2F069DD30 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069HH04 ,  2F069HH09 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ14 ,  2F069LL10 ,  2F069MM04 ,  2F069RR05

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-252502
  
• 特開平3-251705
  
• プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-067130   出願人：セイコー電子工業株式会社
• 走査型トンネル顕微鏡及び情報処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-123230   出願人：キヤノン株式会社
• カンチレバー着脱機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-165147   出願人：オリンパス光学工業株式会社