電子線によるフラットパネルディスプレイのピクセル検査方法及び検査装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：竹本松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-025247
公開番号（公開出願番号）：特開2000-003142
出願日： 1999年02月02日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】フラットパネルディスプレイのピクセルを高速検査し、また、ピクセルの状態、特にピクセルの欠陥の有無や欠陥の内容を検査する。【解決手段】製造中のフラットパネルディスプレイ(FPD)の検査を、固有の信号処理と解析に関連して操作される電圧コントラスト(Eビーム)を用いて検査シする。電圧コントラスト(Eビーム)による検査は、FPDの薄膜トランジスター(TFT)の電圧に比例した二次電子を放出させると共に、設定された駆動信号の波形の組み合わせによって同時にTFTを駆動し、その駆動状態を表す電圧応答パターンを出力する。電圧応答パターンは、それぞれ整合フィルターと関連した1つあるいはそれ以上の検査信号と関係付けられ、その出力は電圧信号と検査信号との類似の程度に依存する。

請求項（抜粋）：

選択的にアドレスすることができるピクセルをアレイ状に備えるフラットパネルディスプレイの検査方法であり、1つあるいはそれ以上の駆動信号でピクセルを駆動してアレイ状の複数のピクセルから検査ピクセルを電気的に選択し、前記検査ピクセルに少なくも一つの電子線を照射して電子放出を行わせ、前記電子放出を検出し、前記電子放出により少なくとも一つの代表的な出力信号を発生させ、前記出力信号を一つあるいはそれ以上の整合フィルターに供給し、整合フィルターの出力によって検査ピクセルの状態を検査するものであり、前記整合フィルターの出力は、整合フィルターと関連づけられた検査信号に対する前記出力信号の類似性を示す相関出力である、電子線によるフラットパネルディスプレイのピクセル検査方法。

IPC (5件)：

G09F 9/00 352 , G01N 23/225 , G01R 31/00 , G01R 31/302 , G02F 1/13 101

FI (5件)：

G09F 9/00 352 , G01N 23/225 , G01R 31/00 , G02F 1/13 101 , G01R 31/28 L

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭63-269198
特開平4-314032
特開平4-080668

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審査官引用 (2件)

特開昭63-269198
特開昭63-269198

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