特許
J-GLOBAL ID：200903081414085445
ブラックマトリックス基板の製造方法及びカラーフィルタ付き基板及び液晶表示素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-298980
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230132
出願日： 1996年11月11日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】光学濃度が高く信頼性の高いブラックマトリックスを感光性樹脂を用いて生産性良く製造する。【解決手段】光透過性の基板1上に着色された感光性樹脂を主成分とする塗工層2を形成し、フォトリソグラフィ法でマスク3の側から光線照射4により露光し、現像してパターニングした後、反対側から光線照射5を行い、その後焼成してブラックマトリックスパターンを形成する。
請求項（抜粋）：
光透過性の基板上に着色された感光性樹脂を主成分とする塗工層を形成し、フォトリソグラフィ法で露光・現像を行うことにより、所望のブラックマトリックスパターン状以外の部分の塗工層を除去した後、最初に光線を照射した側と反対側から残った塗工層に光線を照射し、その後、塗工層を有する基板を焼成してブラックマトリックスパターンを形成することを特徴とするブラックマトリックス基板の製造方法。
IPC (4件)：
G02B 5/20 101
, G02B 5/00
, G02F 1/1335 500
, G02F 1/1335 505
G02B 5/20 101
, G02B 5/00 B
, G02F 1/1335 500
, G02F 1/1335 505
