金属微粒子分散液を用いたメッキ代替導電性金属皮膜の形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-136077
公開番号（公開出願番号）：特開2002-334618
出願日： 2001年05月07日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】電子材料分野において、各種用途に利用される種々のメッキ膜と代替可能な、メッキ膜に匹敵する加工精度と信頼性を有する導電性金属皮膜を簡便に、高い再現性で形成する方法の提供。【解決手段】平均粒子径100nm以下の金属超微粒子を、その表面に、金属元素と配位的な結合が可能なアミン化合物などの被覆層を設けて、有機溶媒中に分散させ、この被覆層のアミン化合物などと反応性を示す、有機の酸無水物またはその誘導体あるいは有機酸等を添加したペースト状の分散液を利用して、塗布膜を形成した上で、250°C以下で加熱処理して、金属超微粒子が緻密に焼結した金属皮膜を作製する。

請求項（抜粋）：

金属微粒子分散液を用いて、メッキ代替導電性金属皮膜を形成する方法であって、メッキ代替導電膜を形成する領域に、前記金属微粒子分散液の塗布層を形成する工程と、形成された前記金属微粒子分散液の塗布層を250°Cを超えない温度にて加熱処理し、含有される金属微粒子相互を焼結する工程とを有し、利用する前記金属微粒子分散液は、分散媒体となる有機溶剤中に平均粒子径が1〜100nmの範囲に選択される金属超微粒子が分散されており、金属超微粒子表面は、かかる金属超微粒子に含まれる金属元素と配位的な結合が可能な基として、窒素、酸素、イオウ原子を含む基を有する化合物1種以上により被覆されており、前記加熱処理を施す際、金属元素と配位的な結合が可能な基として、窒素、酸素、イオウ原子を含む基を有する前記化合物の金属超微粒子表面からの解離がなされることを特徴とするメッキ代替導電性金属膜の形成方法。

IPC (8件)：

H01B 13/00 503 , B22F 1/02 , C09D 1/00 , C09D 5/24 , C23C 24/08 , H01B 1/00 , H01B 1/22 , H05K 1/09

FI (8件)：

H01B 13/00 503 C , B22F 1/02 A , C09D 1/00 , C09D 5/24 , C23C 24/08 B , H01B 1/00 E , H01B 1/22 A , H05K 1/09 A

Fターム (88件)：

4E351AA00 , 4E351BB01 , 4E351BB31 , 4E351BB49 , 4E351CC11 , 4E351CC22 , 4E351CC31 , 4E351DD04 , 4E351DD05 , 4E351DD06 , 4E351DD08 , 4E351DD10 , 4E351DD12 , 4E351DD13 , 4E351DD17 , 4E351DD19 , 4E351DD20 , 4E351DD21 , 4E351DD52 , 4E351DD56 , 4E351GG20 , 4J038AA01 , 4J038FA08 , 4J038HA061 , 4J038HA22 , 4J038JA02 , 4J038JA03 , 4J038JA20 , 4J038JA37 , 4J038JA39 , 4J038JA42 , 4J038JB03 , 4J038JC02 , 4J038JC13 , 4J038JC22 , 4J038KA06 , 4J038KA15 , 4J038KA20 , 4J038LA04 , 4J038NA20 , 4J038PA19 , 4J038PB09 , 4J038PC02 , 4K018AA02 , 4K018AA03 , 4K018AA06 , 4K018AA07 , 4K018AA14 , 4K018AA19 , 4K018AA40 , 4K018AB10 , 4K018AC01 , 4K018BA01 , 4K018BA02 , 4K018BA03 , 4K018BA04 , 4K018BA08 , 4K018BA09 , 4K018BA20 , 4K018BC29 , 4K018BD04 , 4K018BD10 , 4K018DA21 , 4K018KA33 , 4K044AA06 , 4K044AB02 , 4K044BA02 , 4K044BA06 , 4K044BA08 , 4K044BA10 , 4K044BB01 , 4K044BC08 , 4K044BC14 , 4K044CA24 , 4K044CA27 , 4K044CA29 , 4K044CA53 , 5G301DA03 , 5G301DA04 , 5G301DA05 , 5G301DA06 , 5G301DA10 , 5G301DA11 , 5G301DA12 , 5G301DA13 , 5G301DA14 , 5G301DA42 , 5G301DD01

引用特許：

審査官引用 (1件)

金属超微粒子分散液及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-313591 出願人：株式会社アルバック・コーポレートセンター

前のページに戻る