特許
J-GLOBAL ID：200903081505572608

研磨装置

発明者：
鈴木 啓夫

鈴木 啓夫 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-342128
公開番号（公開出願番号）：特開2002-144218
出願日： 2000年11月09日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
要約：
【要約】【課題】 精密な軽荷重が得られ、またスムーズな下降動作ができる軽荷重ドレッサを用いた研磨装置を提供すること。【解決手段】 ドレッサ20とドレッサ20を回転駆動する駆動軸21を含むドレッサユニットを、揺動アーム30等のドレッサ支持機構に対して上下動自在に取り付ける。ドレッサユニットとドレッサ支持機構との間にドレッサユニットを流体圧力によって上向きの力で押し上げるピストン・シリンダ機構40を取り付け、ピストン・シリンダ機構40に圧縮空気源67から圧力コントロールユニット65を介して所要圧力の流体を供給する。ドレッサユニットの自重と、ピストン・シリンダ機構40によるドレッサユニットを上向きに押し上げる力のバランスによって、ドレッサ20のターンテーブル10への押し付け荷重を精密に調整する。
請求項（抜粋）：
各々独立して回転するターンテーブルとトップリングとドレッサとを具備し、ターンテーブルとトップリングの間にポリッシング対象物を介在してポリッシング対象物の表面を研磨すると共に、ドレッサをターンテーブルに押し付けることでターンテーブル表面の研磨クロス面を再生する研磨装置において、前記ドレッサとドレッサを回転可能に支持する軸を含むドレッサユニットを、ドレッサ支持機構に対して上下動自在に取り付け、且つドレッサユニットとドレッサ支持機構との間にドレッサユニットを上向きの力で押し上げる押し上げ機構を取り付け、ドレッサユニットの自重と、押し上げ機構によるドレッサユニットを上向きに押し上げる力のバランスによってドレッサのターンテーブルへの押し付け荷重を調整することを特徴とする研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 37/00 ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622
FI (3件)：
B24B 37/00 A ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622 M
Fターム (9件)：
3C047AA05 ,  3C047AA15 ,  3C047AA34 ,  3C058AA19 ,  3C058AB04 ,  3C058BA05 ,  3C058BB04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17
引用特許：
審査官引用 (4件)
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