フレキシブル薄膜トランジスタディスプレイの製法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：朝日奈宗太 , 佐木啓二 , 秋山文男 , 田中弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-130646
公開番号（公開出願番号）：特開2004-109975
出願日： 2003年05月08日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】フレキシブル薄膜トランジスタディスプレイの製法を提供する。【解決手段】ディスプレイ装置のフレキシブル金属基板として、アルミニウム合金箔、純チタン箔またはチタン合金箔である金属箔を準備する工程、フレキシブル金属基板上に絶縁層を形成する工程、および絶縁層上に薄膜トランジスタ(TFT)アレイを形成する工程からなる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ディスプレイのフレキシブル金属基板として、アルミニウム合金箔、純チタン箔またはチタン合金箔である金属箔を準備する工程、前記フレキシブル金属基板上に絶縁層を形成する工程、および前記絶縁層上に薄膜トランジスタアレイを形成する工程からなるフレキシブル薄膜トランジスタディスプレイの製法。

IPC (7件)：

G09F9/30 , G02F1/1333 , G02F1/1368 , H01L29/786 , H05B33/02 , H05B33/10 , H05B33/14

FI (9件)：

G09F9/30 338 , G09F9/30 310 , G02F1/1333 500 , G02F1/1333 505 , G02F1/1368 , H05B33/02 , H05B33/10 , H05B33/14 A , H01L29/78 626C

Fターム (67件)：

2H090HA01 , 2H090HB03X , 2H090HB04X , 2H090HB06X , 2H090HC01 , 2H090HC09 , 2H090HD01 , 2H090JA01 , 2H090JA06 , 2H090JB01 , 2H090JB03 , 2H090JC07 , 2H090JC08 , 2H090JD13 , 2H090JD17 , 2H090LA04 , 2H090LA20 , 2H092GA12 , 2H092HA05 , 2H092JA24 , 2H092JA26 , 2H092JB07 , 2H092MA01 , 2H092MA05 , 2H092NA25 , 2H092PA01 , 2H092PA12 , 3K007AB11 , 3K007AB12 , 3K007AB13 , 3K007AB14 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007BA07 , 3K007CA04 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 5C094AA37 , 5C094AA42 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA06 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094EB02 , 5C094FB14 , 5C094GB10 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110CC01 , 5F110CC05 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD06 , 5F110DD08 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110HL07 , 5F110NN71 , 5F110NN72

引用特許：

審査官引用 (5件)

ディスプレイ用可撓性基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-116536 出願人：大日本印刷株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-322632 出願人：シチズン時計株式会社
アルミニウムベース回路基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-089807 出願人：スカイアルミニウム株式会社, 日本レック株式会社

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