塗布膜形成装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村田幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-156166
公開番号（公開出願番号）：特開2005-334754
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】表面に凹凸部を有する塗布対象物に均一な塗布膜の形成を可能にすること。【解決手段】表面に凹凸部18を有する塗布対象物11に塗布液を噴霧する噴霧装置1と、塗布対象物11を戴置するワークステージ10とを備える塗布膜形成装置において、膜状態検出部12が塗布対象物11表面に必要な膜厚の塗布膜を形成していない部位を検出すると、制御装置20は粒子状態検出部4及び対象物温度検出部13からの情報と塗布対象物の凹凸部18の形状とあらかじめ記録されている情報とに基づき、ノズル高さ調整手段21と噴霧圧調整手段22と噴霧量調整手段23と駆動部24及び温度調整手段25を制御し、再度塗布処理を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

塗布対象物に塗布液を噴霧し塗布膜を形成する噴霧装置と、上記塗布対象物を戴置するワークステージとを備える塗布膜形成装置において、上記噴霧装置は塗布液を粒子状に噴霧する噴霧ノズルと、該噴霧ノズルから噴霧される塗布液の粒子の状態を検出する粒子状態検出部と、上記塗布対象物表面から噴霧ノズルまでの高さを調整するノズル高さ調整手段とを有し、上記噴霧ノズルは、塗布液の噴霧用気体の圧力を調整する噴霧圧調整手段と、塗布液の噴霧量を調整する噴霧量調整手段とを備え、上記ワークステージは上記塗布対象物を加熱する温度調整手段と、上記塗布対象物表面に形成された塗布膜の状態を検出する膜状態検出部と、上記塗布対象物の温度を検出する対象物温度検出部とを備え、上記粒子状態検出部と膜状態検出部及び対象物温度検出部から検出された情報に基づき、上記ノズル高さ調整手段、噴霧圧調整手段、噴霧量調整手段及び温度調整手段の内の一つ、又はこれらを組み合わせて制御する制御装置を備えることを特徴とする塗布膜形成装置。

IPC (2件)：

B05B12/08 , H01L21/027

FI (2件)：

B05B12/08 , H01L21/30 564Z

Fターム (9件)：

4F035AA03 , 4F035BB13 , 4F035BB16 , 4F035CA01 , 5F046JA01 , 5F046JA02 , 5F046JA20 , 5F046JA21 , 5F046JA24

引用特許：

出願人引用 (1件)

塗布膜形成方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-262391 出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (4件)

自動塗装機の制御方法および制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-300914 出願人：日産自動車株式会社
鋼板マーキング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-049823 出願人：新日本製鐵株式会社
特開平4-371252

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