プラズマクリーニング方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-035915
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233388
出願日： 1997年02月20日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】本発明は、プラズマ処理室のプラズマクリーニングの方法であって、プラズマ処理室表面を効率良く清浄化できるプラズマクリーニングの方法を提供することを目的とする。【解決手段】プラズマクリーニングにおいて、反応性化学種によるプラズマ反応工程と、揮発性生成物の脱離を促進させるためのプラズマ脱離工程を交互に行う。揮発性生成物の脱離を促進させるためのプラズマ脱離工程は希ガスによるプラズマ処理である必要はない;しかし、このガスが希ガスの場合は、堆積物の脱離に対して優れた促進効果をもたらす。

請求項（抜粋）：

処理室内に搬入した被処理物をプラズマにより処理するプラズマ処理工程を実施した後、該処理室内にガスを導入し、該ガスプラズマによりクリーニングする方法において、処理室内の被クリーニング物質を該ガスプラズマにより揮発性物質に変化させるプラズマ反応工程と、処理室内容器および構成部品の表面に付着している揮発性物質を該ガスプラズマにより脱離させるプラズマ脱離工程とを有することを特徴とするプラズマクリーニング方法。

IPC (5件)：

H01L 21/3065 , C23F 4/00 , H01L 21/205 , H01L 21/304 341 , H01L 21/203

FI (5件)：

H01L 21/302 N , C23F 4/00 A , H01L 21/205 , H01L 21/304 341 D , H01L 21/203 S

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭58-097826
特開平4-165075
プラズマクリーニング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-290544 出願人：住友金属工業株式会社

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審査官引用 (5件)

特開昭58-097826
特開昭58-097826
特開平4-165075

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