特許
J-GLOBAL ID：200903081577347170
窒化アルミニウム質焼結体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018836
公開番号（公開出願番号）：特開平11-217269
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】高熱伝導性を有しながらも、1700°C以下の温度で焼結可能であり、且つ優れた耐薬品性を有する窒化アルミニウム質焼結体とその製造方法を提供する。【解決手段】窒化アルミニウムに対して、希土類元素酸化物(RE2 O3 )とアルカリ土類金属酸化物(RO)を、RO/RE2 O3 の比率が0.2〜0.5を満足する割合で合計0.5〜20重量%含み、シリカ(SiO2 )およびアルミナ(Al2 O3 )を合計で0.1〜5.0重量%の割合でそれぞれ添加してなる混合粉末を成形した後、1700°C以下の非酸化性雰囲気中で焼成した後、1300〜1500°Cの非酸化性雰囲気中で熱処理を施し、粒界相にYAG型結晶相とアルカリ土類金属酸化物-アルミナ系結晶相とをX線回折測定で特定にピーク強度比となるように析出させる。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウムを主成分とし、少なくとも希土類元素酸化物(RE2 O3 )とアルカリ土類金属酸化物(RO)を、RO/RE2 O3 の比率が0.2〜0.5を満足する割合で合計0.5〜20重量%含み、シリカ(SiO2 )およびアルミナ(Al2 O3 )を合計で0.1〜5.0重量%の割合でそれぞれ含む焼結体であって、窒化アルミニウム粒子の粒界相が、YAG型結晶相と、アルカリ土類金属酸化物-アルミナ系結晶相を含み、前記YAG型結晶相における(2,1,1)面ピーク強度をY、前記アルカリ土類金属酸化物-アルミナ系結晶相における(3,1,1)面ピーク強度をRAとした時、Y/RAで表されるピーク強度比が10〜26であることを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C04B 35/58 104 F
, C04B 35/64 A
, C04B 35/64 C
