特許
J-GLOBAL ID：200903093383944639
窒化アルミニウム質焼結体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-169535
公開番号（公開出願番号）：特開平10-017367
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：
【要約】【課題】1700°C以下での低温焼成が可能であって、しかも耐薬品性に優れた黒色に着色された窒化アルミニウム質焼結体を提供する。【解決手段】窒化アルミニウムを主成分とし、希土類元素化合物を酸化物換算で3〜10重量%、アルカリ土類元素化合物を酸化物換算で0.3〜1.5重量%、モリブデン金属、タングステン金属またはそれらの化合物のうちの1種を酸化物換算で0.05〜0.5重量%、珪素を酸化珪素換算で0.3〜1.0重量%の割合でそれぞれ含む成形体を、1700°C以下の窒素含有雰囲気中で焼成して、相対密度98%以上、粒界にYAG型結晶相を含み、熱伝導率が60W/m・K以上、焼結体表面の明度指数L*が50以下、彩度C*が2以下、70°Cの4N-NaOH中に1時間放置した後の重量減少量が10mg/cm2 以下の焼結体を得る。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウムを主成分とし、希土類元素を酸化物換算で3〜10重量%、アルカリ土類元素を酸化物換算で0.3〜1.5重量%、モリブデン金属、タングステン金属またはそれらの化合物のうちの1種を酸化物換算で0.05〜0.5重量%、珪素を酸化珪素換算で0.3〜1.0重量%の割合でそれぞれ含み、粒界にYAG型結晶相を含む焼結体であって、該焼結体表面の明度指数L*が50以下、彩度C*が2以下であり、且つ熱伝導率が60W/m・K以上、70°Cの4N-NaOH中に1時間放置した後の重量減少量が10mg/cm2 以下であることを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体。
IPC (3件)：
C04B 35/581
, H01L 23/14
, H05K 1/03 610
C04B 35/58 104 F
, H05K 1/03 610 E
, H01L 23/14 S
