特許
J-GLOBAL ID：200903081584032435

ウェーハ面取り装置のドレッシング工具及びそのドレッシング工具を用いたウェーハ面取り装置のドレッシング機構

発明者：
片山 一郎

片山 一郎 について

, 
岩城 正民

岩城 正民 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-289318
公開番号（公開出願番号）：特開2000-117630
出願日： 1998年10月12日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：
【要約】【課題】ウェーハ面取り装置の砥石を簡単にドレッシングすることができるウェーハ面取り装置のドレッシング工具及びそのドレッシング工具を用いたウェーハ面取り装置のドレッシング機構の提供。【解決手段】ドレッシング工具1は、ウェーハ面取り装置のチャックテーブルで吸着保持可能であり、外周からドレッシングストーン2が突出して設けられている。ウェーハ面取り装置の砥石をドレッシングするときは、ドレッシング工具1をチャックテーブルに吸着保持させる。そして、回転する砥石に向けてチャックテーブルを移動させ、その砥石にドレッシングストーン2を押し当てる。これにより砥石がドレッシングされる。
請求項（抜粋）：
ウェーハ面取り装置のチャックテーブルに保持可能な基板と、前記基板の外周部から突出して設けられ、ウェーハ面取り装置の砥石に当接されて該砥石をドレッシングするドレッシングストーンと、からなることを特徴とするウェーハ面取り装置のドレッシング工具。
IPC (2件)：
B24B 53/04 ,  B24B 9/00 601
FI (2件)：
B24B 53/04 ,  B24B 9/00 601 H
Fターム (12件)：
3C047AA31 ,  3C047BB04 ,  3C047BB15 ,  3C047BB18 ,  3C047CC11 ,  3C047EE11 ,  3C047FF01 ,  3C049AA03 ,  3C049AA11 ,  3C049AA16 ,  3C049AB06 ,  3C049CB01
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM