感光性樹脂現像液、現像方法およびカラーフィルターの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-086661
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282687
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【目的】膜ハガレや膜残渣がなく高解像度で、且つ現像の許容時間幅が広いため、現像均一性が高く、大局的なムラの生じない感光性樹脂現像液および現像方法を提供し、かかる現像液および現像方法を利用して高品質のカラーフィルターを提供する。【解決手段】感光性樹脂面に対する接触角が25°以上40°以下である感光性樹脂現像液、該感光性樹脂現像を使用する現像方法およびブラックマトリックス形成の際に上記の感光性樹脂現像液を使用することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂面に対する接触角が25°以上40°以下であることを特徴とする感光性樹脂現像液。

IPC (2件)：

G03F 7/32 , G02B 5/20 101

FI (2件)：

G03F 7/32 , G02B 5/20 101

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平2-040659
特開平4-346352
特開平4-346351

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