特許
J-GLOBAL ID：200903081628689305

パターン検査装置

発明者：
永森 進一

永森 進一 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 七條 耕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-180901
公開番号（公開出願番号）：特開2004-028597
出願日： 2002年06月21日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】透過光による検査を自動検査するパターン検査装置を実現すると共に、1つの装置で反射光による検査と透過光による検査を自動検査するパターン検査装置を提供する。【解決手段】フィルム状の帯状ワーク1に形成されたパターンを撮像し、該パターンの外観を検査するパターン検査装置において、前記帯状ワーク1の一方の面側から照射する第1の照明手段6と、前記帯状ワークの他方の面側から照射する第2の照明手段7と、前記帯状ワーク1の一方または他方の面側に配置され、前記帯状ワークを撮像する撮像手段8と、前記帯状ワークの幅方向にテンションを与えるワーク保持手段22とを備えたことを特徴とする。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
フィルム状の帯状ワークに形成されたパターンを撮像し、該パターンの外観を検査するパターン検査装置において、 前記帯状ワークの一方の面側から照射する照明手段と、前記帯状ワークの他方の面側に配置され、前記帯状ワークを撮像する撮像手段と、前記帯状ワークの幅方向にテンションを与えるワーク保持手段とを備えたことを特徴とするパターン検査装置。
IPC (3件)：
G01N21/956 ,  G01B11/24 ,  H01L21/60
FI (3件)：
G01N21/956 B ,  H01L21/60 311W ,  G01B11/24 K
Fターム (36件)：
2F065AA54 ,  2F065CC02 ,  2F065CC25 ,  2F065DD10 ,  2F065FF04 ,  2F065GG07 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065LL21 ,  2F065MM24 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2F065TT03 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AC15 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CD07 ,  2G051DA06 ,  2G051DA13 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA19 ,  2G051EB01 ,  2G051ED11 ,  5F044MM00
引用特許：
審査官引用 (6件)
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