特許
J-GLOBAL ID：200903081677069371

基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法

発明者：
吉澤 武徳

吉澤 武徳 について

, 
海野 重信

海野 重信 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について

, 
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-348903
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186249
出願日： 2002年11月29日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイのそれぞれから、効率よく基板を取り出す。【解決手段】上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイ10のそれぞれを、水平状態で保持するトレイ保持ユニット32が設けられており、トレイ保持ユニット32による保持が解除された各基板収納用トレイ10が、昇降台33に上下方向に積み重ねた状態で載置される。昇降台33が下降されると、昇降台33上に上下方向に積み重ねられた状態で載置される各基板収納用トレイ10の各開口部をそれぞれ挿通するように、複数の支持ピン34が設けられており、それぞれの上端部によってガラス基板20が水平状態で支持される。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、 搬入される基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンを有し、各支持ピンが、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイを上下方向に挿通する長さを有することを特徴とする基板移載装置。
IPC (1件)：
H01L21/68
FI (2件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/68 U
Fターム (20件)：
5F031CA05 ,  5F031DA13 ,  5F031EA18 ,  5F031EA20 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA24 ,  5F031GA08 ,  5F031GA12 ,  5F031GA55 ,  5F031KA03 ,  5F031KA20 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031LA15 ,  5F031MA15 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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