特許
J-GLOBAL ID：200903081717906930

研削装置およびウエーハ研削方法

発明者：
関家 臣之典

関家 臣之典 について

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山本 節男

山本 節男 について

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台井 暁治

台井 暁治 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-226876
公開番号（公開出願番号）：特開2008-053369
出願日： 2006年08月23日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：
【課題】ウエーハを研削ホイールで研削する際に、ウエーハの研削面の引っ掻き傷の発生を抑制すること。【解決手段】水の電気分解によって生成される電解還元水を研削水として使用し、研削ホイール47の研削面に電解還元水を電解還元水供給手段70によって適宜タイミングで供給することで、アルカリ水となって活性化された電解還元水が研削ホイール47を構成する研削砥石49の研削面に作用して砥粒の脱落を促し目詰まりが生じないように機能させることができ、ウエーハWを研削ホイール47で研削する際のウエーハWの研削面に発生する引っ掻き傷が抑制されるようにした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削ホイールが装着された研削手段とを備える研削装置であって、 前記研削手段に装着された前記研削ホイールの研削面に電解還元水を供給する電解還元水供給手段を備えることを特徴とする研削装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ,  B24B 37/00
FI (2件)：
H01L21/304 631 ,  B24B37/00 H
Fターム (3件)：
3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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