特許
J-GLOBAL ID：200903081776513119

隔壁修理方法

発明者：
原田 和行

原田 和行 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-181856
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015033
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、隔壁修理方法に関し、隔壁の欠け欠陥が生じた場合でも、その欠け欠陥を容易に修理することができる方法を提供することを課題とする。【解決手段】 基板上に形成されたストライプ状の隔壁にできた欠け欠陥を含む領域にペースト状の隔壁材料を注入し、欠け欠陥のある隔壁の両側の溝にはみ出た余分なペースト状の隔壁材料を除去しかつ欠け欠陥を含む領域の隔壁を成形した後、所定の乾燥,焼成及び研磨を行うことにより、前記欠け欠陥を含む領域の隔壁を修理することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された隔壁にできた欠け欠陥を含む領域にペースト状の隔壁材料を注入し、欠け欠陥のある隔壁の両側の溝にはみ出た余分なペースト状の隔壁材料を除去しかつ欠け欠陥を含む領域の隔壁を成形した後、焼成を行うことにより、前記欠け欠陥を含む領域の隔壁を修理することを特徴とする隔壁修理方法。
IPC (2件)：
H01J 9/50 ,  H01J 11/02
FI (2件)：
H01J 9/50 A ,  H01J 11/02 B
Fターム (9件)：
5C012AA09 ,  5C040FA01 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GF19 ,  5C040JA25 ,  5C040JA26 ,  5C040MA22 ,  5C040MA26
引用特許：
審査官引用 (6件)
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