静電容量式湿度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：矢作和行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-325518
公開番号（公開出願番号）：特開2006-133191
出願日： 2004年11月09日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】雰囲気中の湿度変化を静電容量の変化によって検出する静電容量式湿度センサであって、高温多湿な環境下においても長期に渡って安定して使用することができ、小型で安価な静電容量式湿度センサを提供する。【解決手段】湿度に応じて誘電率の変化する感湿膜4が形成された、容量値の湿度変化に対する傾きが互いに異なる第1センサ素子11と第2センサ素子12を有してなり、第1センサ素子11と第2センサ素子12が、直列接続されてなる静電容量式湿度センサ100とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

雰囲気中の湿度変化を静電容量の変化によって検出する静電容量式湿度センサであって、湿度に応じて誘電率の変化する感湿膜が形成された、容量値の湿度変化に対する傾きが互いに異なる第1センサ素子と第2センサ素子を有してなり、前記第1センサ素子と第2センサ素子が、直列接続されてなることを特徴とする静電容量式湿度センサ。

IPC (1件)：

G01N 27/22

FI (1件)：

G01N27/22 A

Fターム (9件)：

2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AF10 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060AG11 , 2G060AG15 , 2G060BB10

引用特許：

出願人引用 (6件)

容量式湿度センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-043973 出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所
容量式湿度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-075017 出願人：株式会社デンソー
特開昭63-243857

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審査官引用 (5件)

容量式湿度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-075017 出願人：株式会社デンソー
特開昭63-243857
特開平1-292244

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