特許
J-GLOBAL ID：200903082087490426

表面検査装置

発明者：
磯崎 久

磯崎 久 について

, 
榎本 芳幸

榎本 芳幸 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370639
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166947
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】基板表面の膜種、膜厚に影響されない安定した高精度の検査を可能とする表面検査装置を提供する。【解決手段】基板5の表面にレーザ光線2を照射し、該レーザ光線の散乱反射光を検出して異物を検出する表面検査装置に於いて、光源部12が複数の発光源を有し、それぞれの発光源からのレーザ光線2a,2bを基板表面に、基板表面での反射特性が異なる状態で照射する照射光学系7を具備する。
請求項（抜粋）：
基板表面にレーザ光線を照射し、該レーザ光線の散乱反射光を検出して異物を検出する表面検査装置に於いて、光源部が複数の発光源を有し、それぞれの発光源からのレーザ光線を基板表面に、基板表面での反射特性が異なる状態で照射する照射光学系を具備することを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J
Fターム (19件)：
2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051BB20 ,  2G051CA01 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA41 ,  4M106CA46 ,  4M106DB08 ,  4M106DB14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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