特許
J-GLOBAL ID：200903082140565158
積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050262
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252536
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】圧電板と金属薄板を確実に接合するとともに、圧電板の亀裂の発生を防止し、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】セラミック圧電板1と、両面に厚さ1〜20μmのAg金属層4を被覆したコバールなどのNi-Feを主成分とする合金からなる金属薄板2とを交互に積層した後、700〜2000kgfの荷重を印加しながら400〜700°Cで熱圧着するすることにより、Ag金属層4をセラミック圧電板1表面の結晶粒子間に圧入させ、セラミック圧電板1と金属薄板2とをAg金属層4を介して接合一体化させる。
請求項（抜粋）：
複数個のセラミック圧電板と複数個の金属薄板とを交互に積層して形成された積層型圧電アクチュエータにおいて、前記金属薄板の表面に実質的にガラスを含まないAg金属層を被覆形成するとともに、前記Ag金属層を前記セラミック圧電板表面の結晶粒子間に圧入させることにより前記セラミック圧電板と前記金属薄板とを前記Ag金属層を介して接合一体化してなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (4件)：
H01L 41/083
, F02M 51/00
, H01L 41/22
, H02N 2/00
H01L 41/08 Q
, F02M 51/00 E
, H02N 2/00 B
, H01L 41/22 Z
3G066BA33
, 3G066BA46
, 3G066BA54
, 3G066CD21
, 3G066CD28
, 3G066CD30
, 3G066CE27
, 3G066CE31
