特許

J-GLOBAL ID：200903082185972625

多結晶ダイヤモンド薄膜、それを用いた光電陰極及び電子管

発明者： 新垣 実 ,  内山 昌一 ,  菅 博文
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-046248
公開番号（公開出願番号）：特開2001-233694
出願日： 2000年02月23日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：

【要約】【課題】 光電変換量子効率の高い多結晶ダイヤモンド薄膜とそれを備えた光電陰極及び電子管を提供することを目的とする。【解決手段】 この発明に係る多結晶ダイヤモンド薄膜は、粒子径の平均が1.5μm以上であり、かつラマン分光法によって得られるラマンスペクトルにおいて、波数1580cm-1付近のピーク強度は波数1335cm-1付近のピーク強度に対し、その比率が0.2以下とする。また、この発明に係る光電陰極2及び電子管1は、上記の多結晶ダイヤモンド薄膜を光吸収層22として備える。

請求項（抜粋）：

粒子径の平均が1.5μm以上であり、かつラマン分光法によって得られるラマンスペクトルにおいて、波数1580cm-1付近のピーク強度は波数1335cm-1付近のピーク強度に対し、その比率が0.2以下であることを特徴とする多結晶ダイヤモンド薄膜。

IPC (4件)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/27 ,  H01J 1/34 ,  H01J 40/06

FI (4件)：

C30B 29/04 N ,  C23C 16/27 ,  H01J 1/34 C ,  H01J 40/06

Fターム (12件)：

4G077AA03 ,  4G077BA03 ,  4G077DB07 ,  4G077DB19 ,  4K030AA09 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030BB03 ,  4K030CA05 ,  4K030FA01 ,  5C035AA20 ,  5C035CC01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ダイヤモンド被覆物品とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-195394   出願人：日本特殊陶業株式会社
• 光電陰極及びそれを備えた電子管
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-252334   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• ダイヤモンド結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-217961   出願人：松下電工株式会社, 松下電器産業株式会社
• 反射型光電陰極及び透過型光電陰極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-318154   出願人：株式会社神戸製鋼所

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Surface quality and composition dependence of absolute quantum photoyield of CVD diamond films