特許
J-GLOBAL ID：200903024872060164
反射型光電陰極及び透過型光電陰極
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-318154
公開番号（公開出願番号）：特開2000-149767
出願日： 1998年11月09日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】【課題】 優れた量子効率、長期安定性及び耐久性を有するダイヤモンドで形成された受光部を有する反射型光電陰極並びに透過型光電陰極を提供する。【解決手段】 多結晶ダイヤモンド膜、表面が(100)配向性ダイヤモンド膜、表面が(111)配向性ダイヤモンド膜、ヘテロエピタキシャルダイヤモンド膜、孤立粒子状ダイヤモンド等の特徴的な構造を有するダイヤモンド膜をシリコン又は炭化珪素等の半導体、白金、イリジウム又はモリブデン等の金属及び石英又はフッ化カルシウム等のセラミックスを基板として形成する。
請求項（抜粋）：
受光部がダイヤモンド膜で形成され、前記ダイヤモンド膜は、多結晶膜であると共に、その膜厚が、10μm以下であることを特徴とする反射型光電陰極。
IPC (3件)：
H01J 1/34
, H01J 1/30
, H01J 40/06
H01J 1/34 C
, H01J 1/30 A
, H01J 40/06
