特許

J-GLOBAL ID：200903082210448057

粘着テープ貼着方法

発明者： 関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 松本 昂 ,  伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-309794
公開番号（公開出願番号）：特開2009-135254
出願日： 2007年11月30日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：

【課題】 均一厚さの粘着テープをウエーハに貼着可能な粘着テープ貼着方法を提供することである。【解決手段】 ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを加工する加工手段とを備えた加工装置によってウエーハを加工する際に、該チャックテーブルに保持されるウエーハの被保持面に粘着テープを貼着する粘着テープ貼着方法であって、前記粘着テープはシート層と、該シート層に塗布された糊層とから構成され、ウエーハの被保持面に粘着テープを貼着する際に、該シート層の糊層塗布面に、又はウエーハの被保持面に糊層を均一に塗布してウエーハの被保持面に前記シート層を貼着することを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを加工する加工手段とを備えた加工装置によってウエーハを加工する際に、該チャックテーブルに保持されるウエーハの被保持面に粘着テープを貼着する粘着テープ貼着方法であって、 前記粘着テープはシート層と、該シート層に塗布された糊層とから構成され、 ウエーハの被保持面に粘着テープを貼着する際に、該シート層の糊層塗布面に、又はウエーハの被保持面に糊層を均一に塗布してウエーハの被保持面に前記シート層を貼着することを特徴とする粘着テープ貼着方法。

IPC (4件)：

H01L 21/301 ,  C09J 7/02 ,  C09J 133/00 ,  H01L 21/683

FI (4件)：

H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z ,  C09J133/00 ,  H01L21/68 N

Fターム (23件)：

4J004AA10 ,  4J004AB01 ,  4J004CA05 ,  4J004CB03 ,  4J004CC03 ,  4J004CD05 ,  4J004EA01 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J040DF041 ,  4J040DF051 ,  4J040MA10 ,  4J040MB03 ,  4J040NA20 ,  4J040PA10 ,  4J040PA25 ,  4J040PA33 ,  4J040PB19 ,  5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA78 ,  5F031MA34 ,  5F031MA37

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ダイシング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-270308   出願人：ローム株式会社
• 半導体装置の製造方法および半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-231946   出願人：株式会社ルネサステクノロジ
• 半導体ウエハ固定用シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-361737   出願人：東洋化学株式会社