特許

J-GLOBAL ID：200903082236153810

ビームダクト

発明者： 末武 則夫 ,  峰元 祐二 ,  中野 正允
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-184871
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050999
出願日： 1994年08月05日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】真空容器の組込みや、ベーキングがし易く、信頼性の向上を図ることにある。【構成】内部に電子やイオンのビームを通す薄肉の筒状の真空容器7の外表面に補強リブ8を取付けてなるビームダクトにおいて、前記真空容器の少なくとも一端部に長さ調整用のベローズダクト6を設け、このベローズダクト6を真空容器7と一体に成形したものである。

請求項（抜粋）：

内部に電子やイオンのビームを通す薄肉の筒状の真空容器の外周面に補強リブを取付けてなるビームダクトにおいて、前記真空容器の少なくとも一端部に長さ調整用のベローズダクトを設け、このベローズダクトを真空容器と一体に成形したことを特徴とするビームダクト。

IPC (2件)：

H05H 7/14 ,  H05H 13/04

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 真空容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-135337   出願人：日本発条株式会社
• 荷電粒子加速装置の真空ダクト用ダクト単管の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-246492   出願人：イーグル工業株式会社
• 特開昭64-082500
  
• 特開昭62-136798
  
• 特開平3-289099