センサの性能確認装置および方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-565441
公開番号（公開出願番号）：特表2002-522837
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2002年07月23日
要約：

【要約】【課題】【解決手段】プロセスを測定するセンサに発生する故障を検出し、識別し、分類するための装置と方法が開示される。1つまたは複数のセンサにおいて故障を識別すると、この装置と方法は故障センサに対し代替値を提供して、これらのセンサを使用するすべてのプロセスコントローラおよびプロセスモニタリングシステムが故障期間中に運転を続行できるようにする。故障センサの識別は、センサの特定サブセットを感知しないと同時に、上記サブセット外のセンサに最高の感度をもつように特有に設計される、セットの構造化残差変換によって達成される。識別された故障は、完全な故障、バイアス、ドリフト、精度劣化、または不明のいずれかに分類される。

請求項（抜粋）：

測定されるプロセス中の1つまたは複数のセンサの故障を検出する装置であって、測定されたセンサ値を含む信号の動作ベクトルを受け取り、前記測定されたセンサ値を正規化して、前処理されたセンサ値を生成する前処理ユニットと、その前処理ユニットに結合され、前処理されたセンサ値を、主として測定雑音を含む等式エラー値に変換するモデルユニットと、そのモデルユニットに結合され、構造化残差変換と称する複数の変換を含む構造化残差ユニットであって、各変換が等式エラー値を構造化残差値に変換し、各変換がセンサのサブセットの故障を感知しないように設計されている、構造化残差ユニットと、前記モデルユニットに結合され、前記等式エラー値の間の関係を監視し、予測された関係からの前記関係の有意偏差の発生により検出イベントを生成する検出ユニットと、前記構造化残差ユニットおよび検出ユニットに結合され、検出イベントにより起動されて、前記構造化残差値を用いて1つまたは複数のセンサの故障の有無を判定し、その判定により識別イベントを生成する識別ユニットと、前記前処理ユニット、構造化残差ユニットおよび識別ユニットに結合され、識別イベントにより起動されて、前記識別された故障センサのそれぞれについて故障サイズを推定する推定ユニットと、その推定ユニットに結合され、識別されたすべての故障について、対応する前記測定されたセンサ値から前記推定された故障サイズを差し引くことにより、前記動作信号値中の前記故障の測定されたセンサ値について代替値を計算する代替ユニットと、前記推定ユニットに結合され、前記推定ユニットが起動しているときに起動して、前記識別されたセンサ故障を故障タイプの固定セットに分類する分類ユニットとを備えた装置。

IPC (3件)：

G05B 23/02 302 , G05B 23/02 , G01D 21/00

FI (3件)：

G05B 23/02 302 V , G05B 23/02 302 Y , G01D 21/00 Q

Fターム (14件)：

2F076BA13 , 2F076BA17 , 2F076BA18 , 2F076BD13 , 2F076BE05 , 2F076BE08 , 5H223AA02 , 5H223AA20 , 5H223BB01 , 5H223CC09 , 5H223DD05 , 5H223DD09 , 5H223EE02 , 5H223FF05

引用特許：

出願人引用 (3件)

制御システムの診断・解析方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-124708 出願人：株式会社日立製作所
自動加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-250385 出願人：株式会社日立製作所, 日立プロセスコンピュータエンジニアリング株式会社
故障診断支援装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-002093 出願人：株式会社ニコン

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