特許
J-GLOBAL ID：200903082262396535
擬似周期パターンの欠陥検査方法。
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172910
公開番号（公開出願番号）：特開2001-005965
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 擬似欠陥の検出が少なく、且つ、検査装置のコストが大きくならず、品種毎の対応に手間が係ることがない、擬似周期パターンの欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 CCD素子等を用いた撮像手段により得られた、製品の擬似周期パターンの映像信号を、A/D変換処理して、映像信号に対応したデジタル化した画像データを得た後、得られた前記画像データに対し、(a)所定の配列ピッチ、配列方向に対応した、各配列要素の占める画素領域としての配列要素画素領域を決め、その配列要素画素領域に対応する各画素の値を足し込み、配列要素画素領域毎に積算値を得る、配列要素画素領域の積算処理と、(b)積算処理結果に基づき、各配列要素画素領域毎に、配列要素画素領域毎の積算値の差異を強調するための、微分処理等の強調処理と、(c)強調処理工程により得られた結果に対し、所定のスライスレベルと比較して、欠陥部候補を抽出する欠陥候補抽出処理とからなる一連の処理を、必要に応じ複数回行い、得られた抽出結果から欠陥部を抽出する欠陥検出処理工程を行う。
請求項（抜粋）：
同一面内で所定の規則に基づき、配列要素が、その配列ピッチ、配列方向を少しづつ変化させながら、繰り返し配列されて、擬似周期パターンを形成している製品の、擬似周期パターンの欠陥を検出する検査方法であって、CCD素子等を用いた撮像手段により得られた、製品の擬似周期パターンの映像信号を、A/D変換処理して、映像信号に対応したデジタル化した画像データを得た後、得られた前記画像データに対し、(a)所定の配列ピッチ、配列方向に対応した、各配列要素の占める画素領域としての配列要素画素領域を決め、その配列要素画素領域に対応する各画素の値を足し込み、配列要素画素領域毎に積算値を得る、配列要素画素領域の積算処理と、(b)積算処理結果に基づき、各配列要素画素領域毎に、配列要素画素領域毎の積算値の差異を強調するための、微分処理等の強調処理と、(c)強調処理工程により得られた結果に対し、所定のスライスレベルと比較して、欠陥部候補を抽出する欠陥候補抽出処理とからなる一連の処理を、必要に応じ複数回行い、得られた抽出結果から欠陥部を抽出する欠陥検出処理工程を行うことを特徴とする擬似周期パターンの欠陥検査方法。
IPC (4件)：
G06T 7/00
, G01N 21/88
, H01J 9/14
, H01J 9/42
G06F 15/62 405 A
, G01N 21/88 J
, H01J 9/14 G
, H01J 9/42 A
2G051AA90
, 2G051AB20
, 2G051BA20
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051EA08
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA20
, 2G051ED07
, 2G051ED14
, 5B057AA01
, 5B057BA11
, 5B057CE03
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5C012AA02
, 5C012BE03
, 5C027HH29
