応力測定方法および装置ならびに品質管理方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原田一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-318311
公開番号（公開出願番号）：特開2007-127435
出願日： 2005年11月01日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：

【課題】被測定物の応力を非破壊で測定する。【解決手段】希土類元素を含有した被測定物にレーザーまたは電子線を照射して、発生した蛍光スペクトルのピーク波数が応力によってシフトする量を測定することによって応力を測定する。凹凸のある被測定物の蛍光スペクトルのピーク強度ができるだけ高く安定するように、被測定物を揺動させて向きを調節する。これによって被測定物の形状、種類等に影響されずに、製品あるいは製品を構成する部材、素子などの応力や歪を非破壊で測定することが可能となる。また、本発明は、希土類元素の発する蛍光を利用するので、高温で変性することがなく、セラミックスなどの、高温で形成する固体物質にも適用可能である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

希土類元素を含有する被測定物にレーザー若しくは電子線を照射して、発生する希土類の蛍光スペクトルを検出し、前記蛍光スペクトルのピーク位置より前記被測定物に生じている応力を測定することを特徴とする応力測定方法。

IPC (4件)：

G01L 1/00 , G01N 21/64 , G01N 21/62 , G01N 23/225

FI (5件)：

G01L1/00 B , G01N21/64 Z , G01N21/62 A , G01N23/225 , G01L1/00 A

Fターム (21件)：

2G001AA03 , 2G001BA25 , 2G001CA07 , 2G001KA07 , 2G001LA06 , 2G001MA06 , 2G001PA11 , 2G043AA03 , 2G043CA05 , 2G043DA05 , 2G043DA06 , 2G043EA01 , 2G043EA11 , 2G043FA07 , 2G043HA05 , 2G043JA01 , 2G043KA01 , 2G043KA02 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G043NA01

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平3-220433号公報
顕微分光光度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-126700 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-215024号公報

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審査官引用 (7件)

特開昭64-035234
特開昭61-075243
特開平2-118426

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