特許
J-GLOBAL ID：200903082283909613

複屈折板

発明者：
伊藤 忠義

伊藤 忠義 について

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多賀 康訓

多賀 康訓 について

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鈴木 基史

鈴木 基史 について


出願人/特許権者：
株式会社豊田中央研究所

株式会社豊田中央研究所 について


代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-122558
公開番号（公開出願番号）：特開2000-047033
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：
【要約】【課題】 レーザ光等の干渉性の高い光源を用いて位相差の面内分布の変動および温度依存性の少ない斜め蒸着複屈折板を提供する。【解決手段】 透明性ガラス基板2と、前記ガラス基板のいずれか一方の表面に形成した反射防止膜3と、前記ガラス基板のもう一方の表面に該基板の法線に対して斜め方向から誘電体材料を蒸着して形成した斜め蒸着膜4と、前記斜め蒸着膜の上に前記斜め蒸着膜の吸蔵水を保持する保護膜5とからなる。ガラス基板裏面に3層反射防止膜を付与し、更に斜め蒸着膜の上に保護膜を形成することで、レーザ光等の光源を用いて位相差を計測しても測定箇所で位相差の変動が抑えられると共に、斜め蒸着膜の上に保護膜を付与することで、温度依存性の少ない斜め蒸着複屈折板が得られた。
請求項（抜粋）：
透明性ガラス基板と、前記ガラス基板の表面に該基板の法線に対して斜め方向から誘電体材料を蒸着して形成した斜め蒸着膜と、前記斜め蒸着膜の上に前記斜め蒸着膜の吸蔵水を保持する保護膜とからなることを特徴とする複屈折板。
IPC (4件)：
G02B 5/30 ,  G02B 1/10 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/08
FI (4件)：
G02B 5/30 ,  C23C 14/06 P ,  C23C 14/08 N ,  G02B 1/10 Z
引用特許：
審査官引用 (3件)

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