平面ガラス基板用連続式焼成炉

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-043266
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243368
出願日： 2001年02月20日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】高価な耐熱フィルタの使用を極力抑え、かつ、加熱効率の高い平面ガラス基板用連続式焼成炉を提供する。【解決手段】炉内壁表面に不銹金属材料を用いたエアタイト構造とするとともに、独立して温度制御可能な複数のゾーンから構成し、各ゾーンにそれぞれ給気量制御用ダンパ16を有するクリーンエアー供給管1aと排気量制御用ダンパ17を有する炉内雰囲気排気管1bを接続し、かつ、ゾーン内温度が250〜300°C以下の装入側あるいは抽出側のゾーンのうち少なくとも装入側ゾーン内にそれぞれ雰囲気循環通路9を形成するバッフル7およびこの雰囲気循環通路中に循環ファン11と加熱手段10を配設し、前記バッフル内への循環雰囲気入口部に耐熱フィルタ12を配置した平面ガラス基板用連続式焼成炉。

請求項（抜粋）：

炉内壁表面に不銹金属材料を用いたエアタイト構造とするとともに、独立して温度制御可能な複数のゾーンから構成し、各ゾーンにそれぞれ給気量制御用ダンパを有するクリーンエアー供給管と排気量制御用ダンパを有する炉内雰囲気排気管を接続し、かつ、ゾーン内温度が250〜300°C以下の装入側あるいは抽出側のゾーンのうち少なくとも装入側ゾーン内にそれぞれ雰囲気循環通路を形成するバッフルおよびこの雰囲気循環通路中に循環ファンと加熱手段を配設し、前記バッフル内への循環雰囲気入口部に耐熱フィルタを配置したことを特徴とする平面ガラス基板用連続式焼成炉。

IPC (6件)：

F27B 9/02 , C03B 32/00 , F27B 9/04 , F27B 9/30 , F27D 7/04 , F27D 7/06

FI (6件)：

F27B 9/02 , C03B 32/00 , F27B 9/04 , F27B 9/30 , F27D 7/04 , F27D 7/06 B

Fターム (24件)：

4G015EA00 , 4K050AA04 , 4K050BA07 , 4K050BA16 , 4K050CA04 , 4K050CA11 , 4K050CB03 , 4K050CC07 , 4K050CC08 , 4K050CC09 , 4K050CC10 , 4K050CD12 , 4K063AA06 , 4K063AA15 , 4K063BA06 , 4K063BA12 , 4K063CA01 , 4K063CA08 , 4K063DA14 , 4K063DA15 , 4K063DA22 , 4K063DA24 , 4K063DA26 , 4K063DA28

引用特許：

審査官引用 (11件)

炉内雰囲気循環型ローラハース式連続焼成炉
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-120437 出願人：中外炉工業株式会社
特公平5-063719
プラズマディスプレイパネル用焼成炉
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-005073 出願人：大同プラント工業株式会社

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