欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-191302
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028536
出願日： 1998年07月07日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】機構を複雑にすることなく、被検物の反りや回折光による影響を排除して、信頼性の高い欠陥検査を行えるようにする。【解決手段】被検物の検査表面に見込まれる反りの程度に基づいて決定される大きさの照明面から略均一な輝度の拡散光を照射し被検物を照明する照明光学系と、該拡散照明光によって照明された被検物からの正反射光により被検物を撮像する撮像素子を持つ撮像光学系と、該撮像素子により撮像された画像に基づいて被検物上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備える。

請求項（抜粋）：

被検物の欠陥を検査する欠陥検査装置において、被検物の検査表面に見込まれる反りの程度に基づいて決定される大きさの照明面から略均一な輝度の拡散光を照射し被検物を照明する照明光学系と、該拡散照明光によって照明された被検物からの正反射光により被検物を撮像する撮像素子を持つ撮像光学系と、該撮像素子により撮像された画像に基づいて被検物上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01N 21/84

FI (2件)：

G01N 21/88 E , G01N 21/84 E

Fターム (18件)：

2G051AA51 , 2G051AA73 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051BB01 , 2G051BB09 , 2G051CA03 , 2G051CA06 , 2G051CB01 , 2G051CC09 , 2G051DA07 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EA23 , 2G051EB01 , 2G051EB09

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭62-191741
特開昭62-191741
光学式表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-278884 出願人：新日本製鐵株式会社

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