切削工具上に微細結晶粒アルミナを堆積する方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-522293
公開番号（公開出願番号）：特表2001-524391
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2001年12月04日
要約：

【要約】本発明は、超硬合金、サーメット、セラミックス又は高速度鋼からなる切削工具に、耐熱アルミナ(Al2O3) 薄膜を堆積する方法に関する。本発明の方法はプラズマCVD(PACVD)法であり、プラズマは2つの電極間にバイポーラパルス直流電圧を印加することにより生成され、被覆される工具基材はその電極に固定されかつ電気的に接続される。従来技術の方法と対照的に、非導電性の表面上への電荷の蓄積が抑制され、従ってその表面上にアークは生じない。このことにより、安定な長時間のプロセスを可能にする。本発明の方法で、γ-Al2O3の単相、又はγ-Al2O3及びα-Al2O3の混相のいずれかからなる高品質の被膜が、500 °Cの堆積温度で切削工具に堆積できる。本発明による被覆超硬合金工具を鋼又は鋳鉄の機械加工に用いる際に、従来技術のAl2O3 被覆工具に対していくつかの重要な改良点が見られた。

請求項（抜粋）：

プラズマCVD 法で、焼結した超硬合金若しくはサーメット、セラミックス又は高速度鋼を基とする切削工具を、19 GPa以上の硬さを有する微細結晶粒(5〜200nm )のα-Al2O3及び/又はγ-Al2O3の被膜で被覆する方法において、プラズマを2つの電極又は2組の電極の間に印加されるバイポーラパルス直流電圧により生成し、被覆される基材本体を前記電極に固定しかつ電気的に接続し、上記電極又は電極の組が交互にアノード及びカソードとして作用し、化学反応物が、O2,CO2,CO 又はN2O の酸素ドナーを含む、AlCl3,H2及びArであり、パルス周波数を5〜100 kHz 、好ましくは8〜20 kHzに設定し、パルス振幅を300 〜1000ボルト、好ましくは600 〜900 ボルトに設定し、基材温度が、被覆する工具本体の材料に応じて、500 〜800 °C、好ましくは550 〜650 °Cであることを特徴とする、切削工具を被覆する方法。

IPC (4件)：

B23P 15/28 , C23C 16/40 , C23C 16/503 , B23B 27/14

FI (4件)：

B23P 15/28 A , C23C 16/40 , C23C 16/503 , B23B 27/14 A

Fターム (24件)：

3C046FF02 , 3C046FF04 , 3C046FF05 , 3C046FF13 , 3C046FF22 , 3C046FF23 , 3C046FF24 , 3C046FF27 , 4K030AA03 , 4K030AA14 , 4K030AA16 , 4K030AA17 , 4K030BA43 , 4K030BB01 , 4K030CA03 , 4K030FA03 , 4K030JA01 , 4K030JA06 , 4K030JA09 , 4K030JA10 , 4K030JA11 , 4K030JA17 , 4K030JA18 , 4K030KA14

引用特許：

審査官引用 (5件)

酸化アルミニウム被覆焼結合金
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-135907 出願人：東芝タンガロイ株式会社
被覆された切削植刃及びその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-520426 出願人：サンドビックアクティエボラーグ(プブル)
被覆されたフライス加工用植刃及びその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-520424 出願人：サンドビックアクティエボラーグ(プブル)

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