マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-065908
公開番号（公開出願番号）：特開平11-257231
出願日： 1998年03月16日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】双方向送液が可能でかつ耐背圧性の高い能動的バルブを有し、圧電素子とシリコンダイアフラムのユニモルフ構造によって薄型化が可能であるマイクロポンプの実現を図ることにある。【解決手段】流体が通過する貫通穴を有した天板部と、流体を押し出す働きをするポンピングダイアフラムおよび弁の開閉をおこなうバルブダイアフラムを有した基板部と、ダイアフラムと圧電素子のユニモルフアクチュエータによる駆動部と、流体を堰き止める働きをするパッキンによって構成され、天板部と基板部の間にパッキンを挟み込んだ構造にすることによって耐圧性の高い能動バルブを実現し、薄型で双方向送液が可能なマイクロポンプを実現する。

請求項（抜粋）：

流体が通過する貫通穴を有した天板部と、流体を押し出す働きをするポンピングダイアフラムおよび弁の開閉をおこなうバルブダイアフラムを有した基板部と、ダイアフラムと圧電素子のユニモルフアクチュエータによる駆動部と、天板部と基板部との間に挟み込んだ状態で流体を堰き止めるパッキンによって構成されることを特徴としたマイクロポンプ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

マイクロポンプ及びマイクロバルブの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-150306 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平2-149778
マイクロバルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-305251 出願人：日本電装株式会社

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