特許

J-GLOBAL ID：200903082474192328

光学式顕微鏡

発明者： 脇 伸
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-318117
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133691
出願日： 1999年11月09日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】プリズムの姿勢を変えずにプリズムを移動させることで像のぶれが防止できるとともに、経済的に構成できる光学式顕微鏡を提供すること。【解決手段】第1プリズム21を、プリズムホルダ54およびスライドブロック53を介して第1および第2ガイドシャフト51,52に沿って、所定位置と、この所定位置からレーザ光路P4の直交方向へ外れた退避位置との間で移動させるプリズム移動機構5が設けられているから、第1プリズム21自体の姿勢を変えずに安定して第1プリズム21を所定位置と退避位置との間で移動させることができる。また、簡単な構造のプリズム移動機構5であるから、経済的に構成できる。

請求項（抜粋）：

検査対象物に光を照射してその反射光または透過光を観察可能な観察光学系と、検査対象物にレーザ光を照射可能なレーザ加工光学系と、前記観察光学系の観察光路および前記レーザ加工光学系のレーザ光路の交差する所定位置に配置されるプリズムとを備えた光学式顕微鏡であって、前記プリズムを、前記所定位置と、この所定位置から前記レーザ光路の直交方向へ外れた退避位置との間で移動させるプリズム移動機構が設けられ、このプリズム移動機構は、前記プリズムの移動方向に平行に設けられる複数本のガイドシャフトと、これらガイドシャフトに沿って摺動可能に設けられるスライドブロックと、このスライドブロックに固定されかつ前記プリズムが載置されるプリズムホルダとを含んで構成されていることを特徴とする光学式顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/24 ,  B23K 26/06 ,  B81C 5/00

FI (4件)：

G02B 21/24 ,  B23K 26/06 G ,  B23K 26/06 J ,  B81C 5/00

Fターム (8件)：

2H052AC04 ,  2H052AC34 ,  2H052AD32 ,  2H052AF01 ,  4E068CA05 ,  4E068CB05 ,  4E068CD09 ,  4E068CD10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光学式顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-131762   出願人：株式会社ミツトヨ
• 倒立型及び正立型顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-093427   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平4-223420