特許
J-GLOBAL ID：200903082545786496
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-392514
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156726
出願日： 2003年11月21日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】 集積回路素子における微細化の進行に対応しうる遠紫外線に代表される短波長の放射線に適応可能で、放射線に対する透明性が高く、かつ感度、解像度、パターンプロファイル、パターンのラインエッジラフネス等のレジストとしての基本物性に優れる。【解決手段】 酸解離性基の異なる繰り返し単位を少なくとも2種類含有する酸解離性基含有重合体(以下、重合体(A)と略称する)と、感放射線性酸発生剤(以下、酸発生剤(B)と略称する)とを含有し、該重合体(A)が式(X-1)で表される連鎖移動剤を用いる連鎖移動型ラジカル重合により重合されてなる。【化1】 式(X-1)において、Raは、置換または非置換の炭化水素基を表し、Zは置換または非置換のヘテロ原子を含む基を表す。【選択図】 無
請求項（抜粋）：
酸の作用によりアルカリ易溶性となるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有重合体を少なくとも2種類混合した混合酸解離性基含有重合体と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、
前記混合酸解離性基含有重合体に混合される少なくとも1つの酸解離性基含有重合体が式(X-1)で表される連鎖移動剤を用いるリビングラジカル重合により重合されてなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F7/039
, C08F2/38
, C08F2/44
, G03F7/033
, H01L21/027
G03F7/039 601
, C08F2/38
, C08F2/44 C
, G03F7/033
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC05
, 2H025AC06
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025FA17
, 4J011AA05
, 4J011HB14
, 4J011HB24
, 4J011NB04
, 4J011NB05
