特許
J-GLOBAL ID：200903082546452990

光学的位置ずれ測定装置の調整装置および方法

発明者：
福井 達雄

福井 達雄 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-356350
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164266
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：
【要約】【課題】 重ね合わせ位置ずれ測定装置の光学系の調整作業を簡単に行う。【解決手段】 測定マーク52を照明する照明光学系10と、測定マークからの反射光を集光して測定マークの像を結像させる結像光学系20と、結像光学系により結像された測定マークの像を撮影するCCDカメラ30と、得られた画像信号から測定マークの位置ずれを測定する画像処理装置35と、オートフォーカス調整を行うオートフォーカス装置40とから光学的位置ずれ測定装置が構成される。この装置において、オートフォーカス調整、結像光学系20の結像開口絞り23の調整、第2対物レンズ21の調整、照明光学系10の照明開口絞り12の調整をこの順序で行って測定誤差調整を行う。
請求項（抜粋）：
測定マークを照明する照明光学系と、前記測定マークからの反射光を集光して前記測定マークの像を結像させる結像光学系と、前記結像光学系により結像された前記測定マークの像を撮影する撮像装置と、前記撮像装置により得られた画像信号を処理して前記測定マークの位置ずれを測定する画像処理装置とを有して構成される光学的位置ずれ測定装置において、前記照明光学系および前記結像光学系を構成する複数の光学要素の位置調整が可能に構成され、前記複数の光学要素の位置調整を所定の順序で行って測定誤差調整を行うように構成されていることを特徴とする光学的位置ずれ測定装置の調整装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/34 ,  G03F 9/00
FI (6件)：
G01B 11/00 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 R ,  G02B 7/11 N ,  G02B 7/11 C ,  G02B 7/11 M
Fターム (33件)：
2F065AA07 ,  2F065BB28 ,  2F065CC19 ,  2F065DD10 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065NN03 ,  2H051AA10 ,  2H051BA03 ,  2H051BA20 ,  2H051CB02 ,  2H051CB06 ,  2H051CB07 ,  2H051CB11 ,  2H051CB14 ,  2H051CB20 ,  2H051CC04 ,  2H051DA11 ,  5F046BA03 ,  5F046DA13 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DC12 ,  5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046FA10 ,  5F046FB12
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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