特許
J-GLOBAL ID：200903082561877329
拡張型同時多スポット撮像検査
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉田 研二
, 石田 純
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-558213
公開番号（公開出願番号）：特表2008-532044
出願日： 2006年03月01日
公開日（公表日）： 2008年08月14日
要約：
検査システム及び方法について開示する。この構成では、その光軸に沿って斜め方向から異常検知対象面に複数本の照明ビーム光を入射して合焦させることにより複数個の細長い照明スポットのアレイをその面上に形成し、その光軸に対しある非微細な角度差を有するリニア軸に沿ってリニアスキャンを実行し、そして、対応する受光器によって受光されるようアレイ内の各照明スポットからの散乱反射光を受光器のアレイ上に結像させる。
請求項（抜粋）：
その光軸に沿って斜め方向から異常検知対象面に複数本の照明ビーム光を入射して合焦させることにより複数個の細長い照明スポットのアレイをその面上に形成するステップと、
上記光軸に対しある非微細な角度差を有するリニア軸に沿ってリニアスキャンを実行するステップと、
対応する受光器によって受光されるようアレイ内の各照明スポットからの散乱反射光を受光器のアレイ上に結像させるステップと、
を有する表面異常検知方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/84 E
, G01N21/956 A
2G051AA51
, 2G051AB07
, 2G051AC21
, 2G051BA10
, 2G051BA11
, 2G051BB20
, 2G051BC06
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CC17
, 2G051DA06
, 2G051EA14
出願人引用 (2件)
-
米国特許第6208411号明細書
-
米国特許出願公開第2004/0042001号明細書
審査官引用 (3件)
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