特許
J-GLOBAL ID：200903082589284706
走査型電子顕微鏡を用いた測長方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-070901
公開番号（公開出願番号）：特開2005-257542
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】 精度の高い測定を行うことができる走査型電子顕微鏡を用いた測長方法を提供する。【解決手段】 電子検出器の電子入射側の電界の強度を変化させた場合に所定の入射電圧で電子が試料に入射したときに電子検出器により検出される試料から放出された電子の量がピークを示す参照電界強度を予め求めておく。そして、実際に、電界の強度を変化させながら、測長の対象であるパターンが形成された試料に電子線を照射し、電子検出器により試料から放出された電子の量を検出する(ステップS4)。この結果に基づいて倍率補正係数を定め(ステップS6及びS7〜S9)。その後、この倍率補正係数の下で全ての測長の対象箇所の測長を行う(ステップS10)。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
電子検出器の電子入射側の電界の強度を変化させた場合に所定の入射電圧で電子が試料に入射したときに前記電子検出器により検出される前記試料から放出された電子の量がピークを示す参照電界強度を予め求めておき、
前記電界の強度を変化させながら、測長の対象であるパターンが形成された試料に電子線を照射し、前記電子検出器により前記試料から放出された電子の量を検出する工程と、
前記電子の量がピークを示す電界の強度と前記参照電界強度との相違に基づいて、倍率補正係数を定める工程と、
前記試料の測長を行い、前記倍率補正係数を用いて測長結果の補正を行う工程と、
を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡を用いた測長方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2F067AA25
, 2F067BB04
, 2F067BB27
, 2F067CC17
, 2F067FF15
, 2F067FF18
, 2F067HH06
, 2F067KK04
, 2F067KK08
, 2F067LL14
, 2F067QQ03
, 2F067RR29
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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