投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-002290
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211612
出願日： 1994年01月14日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】露光光の照射や大気圧変動などの外的要因による像面湾曲が発生しても、凹凸や傾斜が存在する感光基板に対しても投影光学系の結像面を感光基板面の最適な位置に移動させる事が可能な装置を提供する事を目的とする。【構成】投影光学系への露光光の照射や大気圧変動などの物理量を測定する手段と、物理量の変化をと投影光学系の像面湾曲の変化量との関係の情報を保持した記憶手段と、複数の感光基板面上の光軸方向の位置を検出する受光センサーとを有し、前記像面湾曲の変化量と複数の受光センサーの出力とから、投影光学系の結像面に対して感光基板面を最適な位置に移動させる事を特徴とする投影露光装置。

請求項（抜粋）：

マスクのパターンを所定の結像面内に結像投影する投影光学系と、前記結像面とほぼ平行に感光基板を保持して、前記感光基板を前記投影光学系の光軸方向に移動させるZステージと、前記投影光学系の投影視野内の予め定められた複数の位置に計測点を有し、該複数の計測点の夫々で前記感光基板の表面の光軸方向の基準面からの位置ずれ量を検出し、該位置ずれ量に応じた複数の検出信号を出力する焦点位置ずれ検出手段と、投影光学系の結像面と前記感光基板の表面とが合致するように前記位置ずれ量に応じて前記Zステージを駆動する駆動手段とを備えた投影露光装置において、前記投影光学系の結像面の湾曲を経時的に変化させる物理量を測定し、該物理量に応じた測定信号を出力する測定手段と;前記物理量の変化と前記投影光学系の像面湾曲の変化量との関係を表す情報を予め記憶し、前記測定信号に対応した特定の像面湾曲変化量を出力する記憶手段と;前記像面湾曲変化量に基づいて、前記焦点位置ずれ検出手段の複数の計測点の夫々で生ずる光軸方向の検出偏差分に対応した複数の補正値を出力する補正演算手段と;前記焦点位置ずれ検出手段からの複数の検出信号と前記算出された複数の補正値に基づいて、前記焦点位置ずれ検出手段の複数の計測点に対応した焦点位置補正値を出力する焦点演算手段と;前記焦点位置補正値に基づいて、前記投影光学系の湾曲した結像面に対して決まる最良面に前記感光基板の面が合致するように前記駆動手段を制御する制御手段と、;を有することを特徴とする投影露光装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G03B 27/53 , G03F 7/20 521 , G03F 7/207 , G03F 7/24

FI (4件)：

H01L 21/30 516 A , H01L 21/30 516 E , H01L 21/30 516 F , H01L 21/30 516 Z

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭63-012134
特開平1-205418
特開昭63-255917

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