特許
J-GLOBAL ID：200903082597713039
固体撮像装置及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-096360
公開番号（公開出願番号）：特開2009-252840
出願日： 2008年04月02日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
【課題】高速転送を高感度・低スミアにて行うことが可能なシャント配線構造を用いた固体撮像装置を提供する。【解決手段】マトリクス状に配置された複数の受光部11と、受光部から信号電荷を読み出して垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送部13と、入射光から複数の垂直電荷転送部を遮光する第1遮光膜5とを備え、垂直電荷転送部は、それぞれ、複数の受光部の垂直方向の列に沿って設けられた転送チャネル12と、転送チャネル上にそれを横切るように設けられ受光部間を通って水平方向に連結された複数の第1転送電極3aと、転送チャネル上に設けられ第1転送電極の間に配置された第2転送電極3bを備える。第1遮光膜は、水平方向に連続するように形成されて受光部上には開口部を有し、水平方向に延びる分離領域が受光部間に形成され、導電性を有し、第2転送電極と電気的に接続されている。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
半導体基板にマトリクス状に配置して設けられ、入射光を信号電荷に変換する複数の受光部と、
前記受光部から前記信号電荷を読み出して垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送部と、
前記入射光から前記複数の垂直電荷転送部を遮光する第1遮光膜とを備え、
前記複数の垂直電荷転送部はそれぞれ、前記複数の受光部の垂直方向の列に沿って前記半導体基板に設けられた転送チャネルと、前記転送チャネル上にそれを横切るように設けられ前記受光部間を通って水平方向に連結された複数の第1転送電極と、少なくとも前記転送チャネル上に設けられ前記第1転送電極の間に配置された第2転送電極を備えた固体撮像装置において、
前記第1遮光膜は、水平方向に連続するように形成されて前記受光部上には開口部を有し、水平方向に延びる分離領域が前記受光部間に形成され、導電性を有し、前記第2転送電極と電気的に接続されていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118CA04
, 4M118CB14
, 4M118DA18
, 4M118DA20
, 4M118EA01
, 4M118FA06
, 4M118FB15
, 4M118GB11
, 4M118GB17
